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Nanocalc 系列膜厚測量儀的工作原理和特點

更新時間:2015-08-05   點擊次數:1696次
 Nanocalc 系列膜厚測量儀的工作原理和特點
   Nanocalc 系列膜厚測量儀的工作原理:
  利用白光干涉測量法的原理,NanoCalc-2000用一個寬光譜的光源來測得不同波長的反射數據,由于反射率n和消光系數k隨膜厚的不同而變化,NanoCalc-2000根據這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中,不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述,從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。
  Nanocalc系列膜厚測量儀的特點:
  UV/VIS/NIR高分辨率的配置
  測量準確度在1nm,精度在0.1nm
  可測量4層薄膜的任意3層
  薄膜測量zui小可至10nm,zui大可至400um
  可測量zui小1nm厚的透明金屬層
  提供用于復雜外形材料測量的試驗臺及附件
  對表面缺陷和光滑度不敏感
  龐大的材質數據庫,保證各種材料的測量
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