更新時(shí)間：2024-11-14
簡(jiǎn)要描述：
深紫外反射鏡特別適用于關(guān)鍵器件的實(shí)驗(yàn)性參數(shù)，例如阿秒脈沖的產(chǎn)生或者其他的實(shí)驗(yàn)。我們的設(shè)計(jì)技術(shù)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)可以在客戶開(kāi)始計(jì)劃的時(shí)候就提供支持。實(shí)現(xiàn)深紫外和軟X射線需要安排幾十至幾百層的納米級(jí)厚度的膜層，這些膜層有著原子級(jí)的光滑界面和亞納米級(jí)的膜層控制。這對(duì)多層沉積工藝有著很高的要求，而我們的鍍膜設(shè)備可以滿足。
應(yīng)用：
深紫外多層反射鏡的物理原理是基于多層金屬和非金屬膜層的深紫外散射光的干涉。
目前容易實(shí)現(xiàn)的范圍是中心能量帶在30-200eV。以下是一個(gè)深紫外反射鏡在中興能量92eV下測(cè)得的反射率。
一定的中心能量能得到的zui大反射率和帶寬可以通過(guò)下圖模擬。
特別是波長(zhǎng)范圍在50-100eV的寬度反射鏡都適合產(chǎn)生隔離的阿秒脈沖。通過(guò)我們的深紫外反射鏡，客戶可以實(shí)現(xiàn)zui短的脈沖（持續(xù)時(shí)間在80阿秒）
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